大行程納米定位平臺(tái)采用了最高精度的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)技術(shù)和高剛性低成本的設(shè)計(jì)技術(shù)。
特點(diǎn):
● ESC系列平臺(tái)可被用于常溫和大氣壓環(huán)境,有些型號(hào)還可用于超高真空環(huán)境。
● ESC系列平臺(tái)采用了十字交叉滾柱導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),其承載能力可高達(dá)數(shù)公斤,其俯仰,方位和轉(zhuǎn)動(dòng)角度偏差小于0.1mrad。
● 同時(shí),其最大行程可達(dá)50mm,單步進(jìn)給量可小至50nm。另外,可選配的用于閉環(huán)控制的傳感器的分辨率達(dá)1nm。這個(gè)系列平臺(tái)備有多種形式,尺寸和行程。并可直接互相組合成多軸平臺(tái)。
技術(shù)規(guī)格參數(shù):
名稱
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X軸平臺(tái)
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X軸平臺(tái)
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X軸平臺(tái)
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擺動(dòng)平臺(tái)
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擺動(dòng)平臺(tái)
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轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)
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轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)
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型號(hào)
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ECS3030
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ECS3080
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ECS5050
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ECGt5050
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ECGp5050
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ECR3030
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ECR5050
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閉環(huán)控制特性
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分辨率
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1nm
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1nm
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1nm
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0.000001°
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0.000001°
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0.00001°
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-
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重復(fù)定位精度
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50nm
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50nm
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50nm
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±0.00005°
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±0.00005°
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±0.0005°
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-
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精度
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<0.01%
of travel range
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<0.01%
of travel range
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<0.01%
of travel range
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≒0.001°
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≒0.001°
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≒0.002°
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-
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開環(huán)控制特性
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最小步進(jìn)量
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50nm
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50nm
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50nm
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0.0001°
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0.0001°
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0.0004°
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0.0002°
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精密定位范圍
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1.6μm
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1.6μm
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1.6μm
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0.0014°
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0.0011°
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0.012°
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0.006°
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行程
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20mm
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50mm
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30mm
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10°
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10°
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360°
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360°
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臺(tái)面尺寸〔mm〕
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30×30
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30×80
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50×50
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50×50
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50×50
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30×30
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50×50
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導(dǎo)軌形式
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十字交叉滾柱
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十字交叉滾柱
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十字交叉滾柱
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十字交叉滾柱
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十字交叉滾柱
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球軸承
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球軸承
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自重〔kg〕
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鋁合金型
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0.029
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0.078
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0.070
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0.137
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0.137
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0.28
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0.1
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不銹鋼型
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0.051
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0.147
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0.247
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0.247
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0.247
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0.66
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0.215
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最大速度
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4.5mm/sec
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4.5mm/sec
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4.5mm/sec
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≒1°/sec
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≒1°/sec
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≒10°/sec
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≒5°/sec
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承載能力(水平安裝時(shí))
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9kg
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24kg
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15kg
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1kg
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1kg
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2kg
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2kg
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注:如選購了內(nèi)置傳感器的型號(hào),可實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制。下訂單時(shí),請(qǐng)?jiān)谏厦娴臉?biāo)準(zhǔn)型號(hào)末尾加注“/NUM”。
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